半導體管道工程

北京航星機電工程有限公司致力于半導體行業的氣體應用系統工程:大宗氣體(液體)系統、高純氣體及電子特種工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測、維護保養等工程技術服務和配套產品于一體的成套工程服務;

工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業;為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案。

我公司提供半導體工廠所使用的高純度氣體(O2/Ar/N/H2/He等)、特氣(SiH4/GeH4/PH3/AsH3/SbH3/B2H6/BF3/NF3/PF3/PF5/CF5/CF4/C2H6/C3F8等)綜合供氣系統;排氣處理、監視系統的綜合管理系統;建立以安全為第一的特氣管理輸送系統。從設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務。



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